研究機器
合金作製
アーク溶解炉
日新技研 NEV-AD03
燃焼合成炉
薄膜作製
高周波スパッタリング装置
ULVAC
電子ビーム蒸着装置
ANELVA 2kW 3連 E型電子銃
抵抗加熱式蒸着装置
ULVAC
試料加工
精密切断機
PRESI Mechatome T205
研磨機
イオンスライサー
イオンミリング
カーボンコーター
オスミウムコーター
ソフトプラズマエッチング装置
メイワフォーシス SEDE-GE
熱処理
真空炉 1
with PFEIFFER HiCube 80 Eco
真空炉 2
with ULVAC VPC-260F
酸素同位体置換炉
ヒートテック
分析機器 1
示差走査型熱量計（DSC）
Netzch DSC404F3
触針式プロファイラ
KLA Tencor Alpha-Step D-500
ビッカース硬さ試験機
Mitutoyo HM-100
卓上型精密万能試験機
分析機器 2
電子プローブマイクロアナライザー（EPMA）*
JEOL JXA-iHP200F
・波長分散型特性X線検出器
分光結晶 4種 / 2チャンネル
・エネルギー分散型特性X線検出器
走査透過型電子顕微鏡
（Scanning TEM）*
FEI Talos F200X
・エネルギー分散型特性X線検出器
X線回折装置（XRD）*
Rigaku SmartLab
卓上走査型電子顕微鏡
日立 TM3030
*工学部共通機器
