研究機器
試料作製
アーク溶解炉
日新技研 NEV-AD03
高周波スパッタリング装置
アルバック
電子ビーム蒸着装置
抵抗加熱式蒸着装置
アルバック
ソフトプラズマエッチング装置
メイワフォーシス SEDE-GE
酸素同位体置換炉
ヒートテック
精密切断機
PRESI Mechatome T205
真空炉 1
with PFEIFFER HiCube 80 Eco
真空炉 2
with ULVAC VPC-260F
評価・分析
示差走査型熱量計（DSC）
Netzch DSC404F3
X線回折装置（XRD）*
Rigaku SmartLab
電子プローブマイクロアナライザー（EPMA）*
日本電子 JXA-iHP200F
・波長分散型特性X線検出器
分光結晶 4種 / 2チャンネル
・エネルギー分散型特性X線検出器
走査透過型電子顕微鏡
（Scanning TEM）*
FEI Talos F200X
触針式プロファイラ
KLA Tencor Alpha-Step D-500
卓上型電子顕微鏡
日立 TM3030
卓上型精密万能試験機
*工学部共通機器
