学会発表 / 応用物理学会
院生の長谷川流石さんが応用物理学会秋季学術講演会「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」のセッションにて研究成果を発表しました．
パワーデバイス半導体の酸化ガリウムにおけるドーパントの拡散係数の測定の続報です．一年前のシリコン（n型）に続き，ゲルマニウムと錫（n型）とマグネシウム（p型）の新たな測定値を発表しました．
題目はこちら
†2026年度JKA機械振興補助事業の本研究への支援に感謝を申し上げます．
2026年9月14日
院生の長谷川流石さんが応用物理学会秋季学術講演会「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」のセッションにて研究成果を発表しました．
パワーデバイス半導体の酸化ガリウムにおけるドーパントの拡散係数の測定の続報です．一年前のシリコン（n型）に続き，ゲルマニウムと錫（n型）とマグネシウム（p型）の新たな測定値を発表しました．
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†2026年度JKA機械振興補助事業の本研究への支援に感謝を申し上げます．
2026年9月14日